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顾北舟的实验陷入停滞。
不知是哪个环节出了问题?又或者是之前他以为成功的实验有某些不稳定的细枝末节没被关注到。
总之,实验已经停滞了近一个月。
那个该死的光镜台迟迟无法稳定下来,每次在临近合格参数值的时候,机器总会发出刺耳的哀鸣,然后“砰”得一声陷入沉寂。
这是顾北舟从开始进行光刻期实验以来遇到的最大的困难。
毕竟他有劳伦斯在背后支持,相当于拥有全球所有先进的光刻机实验记录,站在巨人的肩膀上,实验进度当然一日千里。
否则他也不会如此笃定的逼迫劳伦斯继续实验。
那个疯子,最近正被中央调查小组彻夜监视,小辫子不知被抓住多少,根本连动都不敢动。
如果知道光刻机项目陷入停滞或出现问题,恐怕能疯到直接冲过来杀了自己!
想到这里,顾北舟的心底又是烦躁又是焦灼。
“再来一次……尝试在物镜与涂胶晶圆之间注入氦气介质,看看能不能把成像的波前误差再压降0.1个纳米……”
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