星源科技在EUV光源领域的技术突破,像一道惊雷,劈开了自研光刻机路上的迷雾,可随之而来的,还有无数即将袭来的暗流。
一旦消息泄露,阿斯麦、卡尔蔡司那些国际巨头绝不会坐视不理,要么通过专利诉讼拖延进度,要么联合供应链施压,甚至可能动用盘外力量干预。
毕竟,半导体行业从来都不只是单纯的技术竞争,背后牵扯着太多的利益博弈。
星源科技的发展让人出乎意料!
与此同时。
沪城星源科技的光学研究实验室里,林南正带领团队进行第三次稳定性测试。
屏幕上跳动的数据流显示,13.5纳米波长的极深紫外光输出强度稳定在92%以上,能量转换效率为7.1%,远超阿斯麦所掌握的LPP光源。
这个数据,已经达到了商用标准!
但接下来,还有很多巨大的挑战和不确定性。
比如,脉冲放电和等离子体本身会产生巨大热量,旋转靶和液膜都需要极强的冷却能力,目前的热管理技术就不匹配。
开辟一条新路,虽然可以独享,但配套设备和技术都得自己慢慢摸索。
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