这意味着华国半导体行业,首次掌握了完整的照明系统技术链。
一旦攻克投影物镜系统、掩膜版与掩膜台的核心技术,华国将拥有一套具备世界领先水平的反射式光学系统。
至此,距离自研EUV光刻机,已经差不多走完了三分之一的艰难路程。
这一切,还不是全靠.老板!
林南在心中暗暗思忖。
刘峰俊从庐州返回后,带回了一套工艺成熟的离子束抛光、磁流变抛光及磁控溅射技术方案。
与此同时,陈延森的科研天赋也在研发中心渐渐传开。
尽管起初大部分研究人员并不相信陈延森,但如今成果就摆在眼前,由不得他们不信。
更何况,还有刘峰俊这位当事人的佐证。
“汪工,技术文档咱们有了,但这制造任务该交给谁?是长春国科精密,还是沪城微电子装备?”
林南眉头微蹙,看向汪象朝问道。
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