对于这个东西，高振东既没有要求运动速度，也没要求定位速度和稳定速度，这让大师傅们做起来需要顾忌和考虑的东西就更少，目标既明确又纯粹。
那些指标，是自动化生产需要的，但是高振东现在并没有考虑那个，和PCB与焊接不同，IC这个东西整个产业规模暂时还达不到，生产那么快干嘛。
先解决有没有，参与人员经验多了信心足了，再继续改进就是。
高振东前世，我国77年搞的接触式和接近式光刻机，也是手动的。
高振东看着手上的工件台参数表，他这个时候，有一点感受到别人面对他的时候的感觉了。
那就是惊喜，我本来没想要这么好的，怎么你就拿出这么好的东西出来了？万万没想到啊。
“易师傅，这个移动标准差和移动平均差，你们已经做到1.5μm了？”高振东语含惊喜。
移动标准差决定了光刻线宽，移动平均差会影响套刻精度，这两个指标，是高振东在这一块最看重的，而别的指标都往后稍稍。
易中海和所有的师傅对望一眼，面带自豪。
“是啊，我们搞了一下子，大家合计了一下，觉得以手上的条件，加把劲，其实能搞得更好。于是大家各自想办法，拼了老命的把这个降到了1.5，想来对你们来说，应该是有用的。”话说得朴实简单，但是其中过程的艰辛应该是不少。
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