高振东拿起专用夹具,从带干燥剂的硅片架里,小心的夹起了一片单晶硅片,放到了工件台上,然后扳动开关,硅片被吸附固定。
这些单晶硅片已经经过清洗、干燥等处理,对光刻胶的附着力此时是最大的。
然后高振东退后一步,将接下来的试验交给了马娟。
要的就是一开始的那个爽感,至于具体操作,这些试验人员比他手脚麻利多了,专业的事情还是交给专业的人去做。
要说高振东这个光刻机原始,那是真的原始,固定好硅片后,马娟开动开关,硅片开始旋转。
这是高振东的设计,一步到位,光刻胶的涂布,他直接上了旋涂法,前世我们最早的光刻机是用什么方法涂布他不知道,但他知道综合性能肯定是旋涂法最好。
旋涂法在单晶硅片这种平坦的简单表面涂布,平坦化能力强,容易控制厚度,涂层密度大,厚度均匀,不是没有缺陷,但是可以接受和处理。
旋转很快达到了预设的转速,在涂料确定的情况下,涂层厚度这些涂布结果参数与转速高度相关,旋转的同时,工件台也在对硅片进行加热,这是为了进一步去除表面重新附着的水汽。
这些小细节,都是高振东从前世带过来的,不起眼,但是很重要。
加热时间满足预设要求之后,旋转也早已稳定,马娟拿起了滴管。
内容未完,下一页继续阅读