该程序可以实时采集镀膜机的激光功率、沉积时间数据,还能自动生成膜厚误差曲线,当误差超过0.05纳米时,将会触发暂停指令,进而对精度进行实时校准。
由于研发中心还有大量光电所的工程师,所以科学协会的大佬们,没过多久就得知了星源科技的技术突破。
“老胡,你帮我问问,星源科技还缺不缺人?”
沪城光学精密机械研究所的汪象朝,主动拨通了胡锐晖的电话,支支吾吾地说道。
“什么意思?你想辞职?开什么玩笑!”
胡锐晖反问道。
汪象朝可是沪城光学精密机械研究所的中流砥柱,主要的研究方向都在EUV光源领域,前后申请了170余项专利,妥妥的行业大牛。
“老胡啊,星源科技连自研的收集镜系统都弄出来了,你知道这意味着什么吗?再往下走,光源系统就能彻底打通,一旦完成双工件台的研发工作,第一台国产EUV光刻机就有了技术根基,你明白吗?”
汪象朝拿着电话,接连问道。
“老汪,你都一把年纪了……”
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