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第610章 国产光刻机的研发进程,至少缩短了十年! (6 / 9)

作者:今月曾经照古河 最后更新:2025/9/23 1:47:22
        根据实测数据调整下一轮的激光功率和沉积时间,把单次误差控制在0.05纳米以内。

        另外,在镀膜机周围加一圈恒温罩,避免温度的负面影响。”

        其他人闻言,顿时豁然明悟。

        林南毕竟是沪城光学精密机械研究所的高级工程师,能力和技术兼而有之,又是胡锐晖极力推荐的人才,关键时刻能拿出行之有效的方案倒也正常。

        事实上,在陈延森看来,像林南等人,智商、领悟力和创造力都不错,但苦于接触不到EUV光学的顶尖技术,这才像是鬼打墙似的,一直绕弯路。

        若是能拥有同等的科研环境,林南未必开发不出一套收集镜系统,可很多事终究没有如果。

        而陈延森能搞定这项技术,靠的也是远超常人百倍的精神力,以及能让他进入超频思维状态的【普朗克时钟】天赋。

        不然以他原本的能力,或许也能突破这项技术,但要花费的时间,绝对不止半个月。

        在拿到“多壳层掠入射椭圆收集镜系统”的技术方案后,星源科技光学部上下,立刻投入全部精力,以最快的速度反复打磨、全力复现,力求将这套系统成功应用到实际生产中。

        算法组连夜加班,三天内就完成了膜厚监测程序的开发。

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