文档中提出在镜体内部嵌入微通道水冷结构，搭配耐高温的钼铼合金基底，既能承受等离子体的高温冲击，又能避免温度过高导致多层膜脱落。
“我们最担心的‘高温损伤’问题，这套方案竟然连水冷通道的直径、水流速度都算好了！”
材料组的工程师翻到工艺参数页，激动地说道。
“对了，林工！这个梯度涂层的方案，从钼硅多层膜到二氧化硅保护层，每层的厚度误差控制在0.1纳米以内，还得用脉冲激光沉积法分80次沉积，这精度咱们的设备能达到吗？”
第610章国产光刻机的研发进程，至少缩短了十年！
有人面露难色地担忧道。
林南皱起眉头，看向设备组的主任工程师问道：“蔡司镀膜机在恒温恒湿环境下，能不能把精度稳定控制在0.05到0.1纳米之间？”
设备组的主任工程师想了想，非常严谨地回答道：“连续沉积10层钼硅膜，厚度误差最小0.04纳米，最大0.09纳米，刚好能满足方案要求。
但问题是，每次换靶材、调整激光功率时，误差会出现0.12到0.15纳米的波动，80次沉积下来，累积误差可能会超标。”
林南思索片刻，给了一条解决思路：“那就加一道实时校准的流程，算法组先开发一套膜厚监测程序，跟镀膜机的传感器联动，每沉积10层，就自动暂停，用电子显微镜扫描膜厚。
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