第626章难道没有国外的技术,我们就造不出EUV光刻机吗?
“又卡壳了?”
陈延森看完林南的汇报邮件,眉心微蹙。
他没想到,自己都已经把大门踹开,为他们铺好了路,这帮人却还是没能力往前再走一步。
当前的难点有两方面:
第一,中继镜组中的非球面反射镜,需要将面形精度控制在50皮米以下,表面粗糙度得低于0.1纳米的均方根误差。
换句话说,这相当于要求一块徽安省大小的区域,整体起伏不能超过一张A4纸的厚度。
难度可想而知!
目前,全球仅有灯塔国的赛高、德国的蔡司具备相应水准的镜面抛光工艺。
可受到瓦森纳协定的限制,即便花钱买,也拿不到供货名额。
而哈工大、国防科大和华科协会长春光机所,尽管拥有离子束抛光与磁流变抛光技术,理论上能实现原子级的面形精度,但现实与理论往往存在巨大落差。
这就好比问,国内能造出F1赛车的发动机吗?
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