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第626章 难道没有国外的技术,我们就造不出EUV光刻机吗? (3 / 8)

作者:今月曾经照古河 最后更新:2025/9/23 1:47:22
        他们尽力了,只是能力有限。

        陈延森心里清楚,他要是不出手,这场科研大会战多半要成为一个笑话。

        他略一思索,便让林南先把离子束抛光、磁流变抛光和磁控溅射的技术文档发过来。

        与此同时。

        沪城,星源科技光学研发中心。

        林南倚在实验台前,双眼满是红血丝,神色黯淡。

        汪象朝坐在一旁,拍了拍林南的肩膀说道:“别着急,车到山前必有路,慢慢啃呗,既然方案都有了,还怕搞不定工艺问题?”

        沪城光机所的一名专家点头附和道:“以前我们不需要皮米级别的抛光精度,所以技术进展就慢,现在不一样了,只要搞定照明系统的非球面反射镜,这EUV光刻机的光学系统,就等于拿下了一半的核心技术。”

        话虽如此,实验室里的气氛却没怎么缓和。

        林南苦笑一声,指着桌上的检测报告:“道理都懂,可现实摆在这里,我们的仪器测试精度仅有亚纳米水准,面形精度够不够,压根不知道。”

        这无异于闭着眼睛走路,方向对不对都不确定,怎么提升?

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