他们尽力了,只是能力有限。
陈延森心里清楚,他要是不出手,这场科研大会战多半要成为一个笑话。
他略一思索,便让林南先把离子束抛光、磁流变抛光和磁控溅射的技术文档发过来。
与此同时。
沪城,星源科技光学研发中心。
林南倚在实验台前,双眼满是红血丝,神色黯淡。
汪象朝坐在一旁,拍了拍林南的肩膀说道:“别着急,车到山前必有路,慢慢啃呗,既然方案都有了,还怕搞不定工艺问题?”
沪城光机所的一名专家点头附和道:“以前我们不需要皮米级别的抛光精度,所以技术进展就慢,现在不一样了,只要搞定照明系统的非球面反射镜,这EUV光刻机的光学系统,就等于拿下了一半的核心技术。”
话虽如此,实验室里的气氛却没怎么缓和。
林南苦笑一声,指着桌上的检测报告:“道理都懂,可现实摆在这里,我们的仪器测试精度仅有亚纳米水准,面形精度够不够,压根不知道。”
这无异于闭着眼睛走路,方向对不对都不确定,怎么提升?
内容未完,下一页继续阅读