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第626章 难道没有国外的技术,我们就造不出EUV光刻机吗? (7 / 8)

作者:今月曾经照古河 最后更新:2025/9/23 1:47:22
        刘峰俊忍不住地追问道。

        要知道,硅基镜面在研磨过程中会因应力积累产生微小形变,这是超精密加工领域最棘手的难题,也是国内各大高校、研究所迟迟未能突破的技术障碍。

        如今,竟在这里见到了解决方案。

        他在该领域浸淫多年,正因为他懂,才知道这组参数背后藏着多少巧思。

        陈延森微微颔首:“硅基材料的应力释放有滞后性,预处理时得留0.3%的补偿量,不然抛光后冷却会出现回弹误差,先做事,有疑问随时问我。”

        “小王,按这个参数调磁流变抛光机,先测第一块粗胚的应力分布。”

        刘峰俊转头对身后的研究员吩咐,声音里带着难掩的急切。

        陈延森没再多说,转身走向另一台设备。

        接下来的一段日子,刘峰俊跟在陈延森屁股后面打转,完全是一副学生、助手兼跟班的姿态。

        他越深入了解,越能体会到陈延森在超精密加工领域的惊人天赋。

        曾几何时,刘峰俊也是高考状元,还考进了国防科大的少年班,在同龄人中属于科研天才,但在陈延森面前,却犹如蚍蜉望青天一般。

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