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第626章 难道没有国外的技术,我们就造不出EUV光刻机吗? (8 / 8)

作者:今月曾经照古河 最后更新:2025/9/23 1:47:22
        陈延森每天只会在庐州科大待两个小时,大部分工作由刘峰俊等人承担。

        他们先开发了子孔径拼接技术,继而引入计算全息片技术,并通过配备原子力显微镜和光学散射仪,率先把检测精度提升到了皮米级别。

        消息一出,沪城光学部的研发中心,所有人的精神瞬间为之一振。

        毕竟有了测试工具,工艺改良就有了正确的方向可循。

        另一边。

        清华、华科协会仪器研制中心和北方微电子科技,在获得最新版的磁控溅射技术后,立即开始了靶材和镀膜设备的研发工作。

        然而,首个难关就卡在了钼硅材料的纯度与微观结构的均匀性上。

        陈延森在得知后,把真空热压烧结和等离子体致密化技术结合在一起,立马就打通了靶材纯度和结构上的拥堵点。

        瓶颈一破,后续研发便如打通了任督二脉。

        照明系统的研发进度突飞猛进!

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