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第376章 PMOS (6 / 8)

作者:打小就清澈 最后更新:2025/9/18 7:42:46
        高振东道:“我看现在厂里的情况,是有扩散炉的对吧?”

        吕厂长点点头:“是的,这是我们基础生产设备之一,很多。”

        “那最高的温控精度有多高?到得了正负1摄氏度不?”高振东问道,这个精度涉及到扩散掺杂效果。

        这个鲁总工清楚:“这个到不了,有点差距,主要是传感器问题。”

        现在他们用的K型热电偶,测温范围没有问题,但是精度就差不少了,2.5摄氏度或者千分之7.5,对于这个精度要求差了老远。

        高振东想了想,没有推荐B型热电偶,B型的千分之2.5的误差也差点意思,而且反应速度慢。

        “加一个铂电阻吧,间接测量,作为辅助传感器,配合K型热电偶,加上DJS-60D跑PID控制算法,应该是能控制得住的。”

        铂电阻反应速度也慢,不过这个可以算法手段加以某种程度上的解决,铂电阻精度就远超需求了,最好的可以到千分之三摄氏度。

        铂电阻最大的问题还是测温范围问题,半导体生产中需要用到1000摄氏度以上的范围,是超过铂电阻的测温范围的,不过间接测量设计得好的话,问题不大。

        所以高振东拿出了铂电阻间接测量+K型热电偶直接测量的办法,一个测得准,一个测得快,双剑合璧,天下无敌。

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