他不知道日后的扩散炉是怎么解决这个问题的,反正在他这里,他就这么解决。
之所以这个扩散炉这么重要,主要是很多工序都靠这个。
氧化、淀积、扩散、扩散-氧化,这些都靠这玩意了。
扩散-氧化本来还有一种工艺的,但是高振东没有选,因为选择那种工艺会多出来一种叫做外延反应系统的设备,那就麻烦了。
所以高振东选择的还是能靠扩散炉完成“热氧化法”。
高振东想了想,又给了一笔支持:“到时候我这边支持你们一些专门搞计算机控制和热电偶应用的技术人员,负责配合你们搞这个事情。”
鲁总工他们这下放下了心,高总工这里的精兵强将亲自支援,那就好办多了。
高振东也很开心,PMOS技术芯片制造阶段的三大核心设备,一个光刻机,一个扩散炉都有了,就剩下一个了。
“吕厂长,真空蒸镀设备现在是个什么情况?”在1274厂的现状上面没有发现这东西,情况可能不容乐观。
吕厂长摇摇头:“没有,以前我们都用不上这个。”
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