工艺文件里,其实这些添加剂配方不止一种,不过有的配方太过复杂,就现在的条件获取有困难,生物酶、脂肪酸酰胺、酸醇化合物这些东西,对于现在的条件来说有些超纲。
而高振东选的这个配方,就简单多了,双氧水和可溶性硅酸盐都不是什么稀奇古怪的东西,一抓一大把,效果也不差。
双氧水?可溶性硅酸盐?
唐少辉虽然发现了这个现象,可是他不是学化学的,可没能力研究这些现象,研究工作都是化学专业的老师教授配合着搞的,对高振东提出来的方案,听是听清楚了,但是离听懂,就很远。
“高总工,这些东西有什么用?您给我说说,我自己是不太懂这方面的,我记下来,到时候我转述给搞化学的同志们的时候,他们也能及早掌握您的思路,工作做起来也顺畅一些。”不懂就问。
此时的唐少辉,对高振东那是佩服得五体投地,他就听了听,想了想,就给了一个方案,别管能不能用,但是那份自信是假不了的。
唐少辉有种预感,高总工提出来的这个方案,多多少少都是有效的。
“先说硅酸盐吧,加它的原因,主要是与氢氟酸反应生成硅酸,以此抑制腐蚀反应的速度,解决你们说的反应速度过快的问题。”
唐少辉一边记,一边笑道:“啊,明白了,就是和反应抢原料嘛,懂了懂了。”高总工说得简单明了,很容易懂,大道至简啊。
高振东笑着点点头:“对,就是这么个道理,至于双氧水,是解决两个问题,一是促进反应,增加孔洞的深度,二是利用双氧水易分解的特性,促进气泡从硅片表面脱离,解决你们说的气泡问题。”
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