唐少辉连忙记下来,听起来都很有道理的样子,也不知道高总工就这么想一小会儿是怎么想到的。
不过想起他刚才在高总工桌上看到的一本有机化学的书,他好像明白过来,高总工那是一直在不停的学习啊,至于有机化学和无机化学有多少联系,那不管,反正都是化学就对了。
“至于扩孔的反应速度问题,先放一边,你们不是有个除银工序嘛,也加双氧水!”
高振东把唐少辉整得有些蒙蔽,什么都加双氧水是吧?
“这一步,双氧水的易分解特性,产生的气泡对硅片起到漂洗作用,能够更干净的除掉银单质和银离子,同时银离子和双氧水生成的氢氧化银不稳定,容易分解生成水和氧化银,也能有助于沉积的银离子的去除。”
这么短的时间里,唐少辉和搞化学的同志,考虑不到这么深远,所以高振东干脆把他们这个短板补上。
唐少辉麻了,好吧,听起来好像也很有道理的样子。
“你刚才提到的扩孔阶段反应速度过快,容易造成凹孔过大,反而反射率会上升,这个问题啊,你们还是加双氧水,因为这一步不只是氢氟酸这种弱酸,还有硝酸这种强酸,此时,过氧化氢能抑制反应速度。”
又是双氧水!唐少辉彻底麻了。
双氧水是万应灵丹是吧?
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