他心里清楚，若不给这帮人指条明路，恐怕五年、十年，都没法往前迈出一步。
不得不说，他高估了林南团队的水平。
他没想到，这么简单的配套技术方案，林南等人却在正确的路口边缘，足足蹭了四五十天，却无丝毫进展。
于是，陈延森在开发出脉思（Mass）V1.0后，又马不停蹄地设计出了“多壳层掠入射椭圆收集镜系统”。
这玩意本质上是一套精密的多层膜镜子，可以高效捕获EUV光源，并将其初步聚焦引导至照明系统里。
难点主要有两个：收集效率和抗损伤能力。
前者是因为EUV光线是向四面八方发散的，若想提升收集效率，就得设计复杂的多镜拼接结构，同时保证每片镜子的角度校准精度都要达到微米级。
然而，任何角度上的偏差都会导致光线漏失，从而影响到收集效率。
后者是因为等离子光源被激发后，会产生极高的温度，这就需要超强的抗损伤能力。
收集效率要求多层膜具备“薄、匀、纯、无遮挡”等特性，以最大化反射率和角度适配性。
而抗损伤能力要求多层膜又得“厚、硬、耐侵蚀”，必须增加额外保护层的材料。
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